GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法:Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法（GB/T 30654-2014），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会，英文名为Test method for lattice constant of Ⅲ-nitride epitaxial layers。
Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法（GB/T 30654-2014）是在2014-12-31发布，在2015-09-01开始实施。
本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试Ⅲ族氮化物外延片晶格常数的方法。本标准适用于在氧化物衬底(Al2Ο3、ZnΟ等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga,In,Al)N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。
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