GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫:本标准为GB/T 18867-2014，标准的中文名称为电子工业用气体 六氟化硫，标准的英文名称为Gases for electonic industry. Sulphur hexaflouride，本标准在2014-12-22发布，在2015-07-01开始实施。
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。相对分子质量:146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）。
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GB_T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫.pdf