GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯:本标准为GB/T 18994-2014，标准的中文名称为电子工业用气体 高纯氯，标准的英文名称为Gases for electronic industry. High purity chlorine，本标准在2014-12-22发布，在2015-07-01开始实施。
本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。
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GB_T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯.pdf