GB/T 10067.410-2014 电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉:本标准为GB/T 10067.410-2014，标准的中文名称为电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉，标准的英文名称为Basic specifications for electroheat installations. Part 410:Single crystal growing furnace，本标准在2014-12-05发布，在2015-04-16开始实施。
GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
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GB_T 10067.410-2014 电热装置基本技术条件 第410部分_单晶炉.pdf