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GB_T 30901-2014 高纯氟化铵溶液.pdf

 

GB/T 30901-2014 高纯氟化铵溶液:
本标准为GB/T 30901-2014,标准的中文名称为高纯氟化铵溶液,标准的英文名称为High purity ammonium fluoride solution for industrial use,本标准在2014-07-08发布,在2014-12-01开始实施。
本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于高纯氟化铵溶液溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。
本标准文件共有14页。

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