GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法:本标准为GB/T 36969-2018，标准的中文名称为纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法，标准的英文名称为Nanotechnology. Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy，本标准在2018-12-28发布，在2018-12-28开始实施。
本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
本标准文件共有10页。
GB_T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法.pdf