GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法:本标准为GB/T 29190-2012，标准的中文名称为扫描探针显微镜漂移速率测量方法，标准的英文名称为Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope，本标准在2012-12-31发布，在2013-06-01开始实施。
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
本标准文件共有20页。
GB_T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法.pdf