GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范:本标准为GB/T 15861-2012，标准的中文名称为离子束蚀刻机通用规范，标准的英文名称为General specification of ion beam etching system，本标准在2012-11-05发布，在2013-02-15开始实施。
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
本标准文件共有12页。
GB_T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范.pdf