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GB_T 15862-2012 离子注入机通用规范.pdf

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GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范:

本标准为GB/T 15862-2012，标准的中文名称为离子注入机通用规范，标准的英文名称为General specification of ion implantation equipment，本标准在2012-11-05发布，在2013-02-15开始实施。
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
本标准文件共有12页。

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