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GB_T 26307-2010 银靶.pdf

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GB/T 26307-2010 银靶:

本标准为GB/T 26307-2010，标准的中文名称为银靶，标准的英文名称为Silver target，本标准在2011-01-14发布，在2011-11-01开始实施。
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
本标准文件共有9页。

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