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GB_T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢.pdf

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GB/T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢:

本标准为GB/T 26250-2010，标准的中文名称为电子工业用气体砷化氢，标准的英文名称为Gases for electronic industry. Arsine，本标准在2011-01-14发布，在2011-05-01开始实施。
本标准规定了砷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中,砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。
本标准文件共有10页。

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