GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语:本标准为GB/T 26111-2010，标准的中文名称为微机电系统(MEMS)技术 术语，标准的英文名称为Micro-electromechanical system technology. Terms，本标准在2011-01-10发布，在2011-10-01开始实施。
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
本标准文件共有37页。
GB_T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语.pdf