GB/T 12963-2009 硅多晶

yifang · 发表于 2021-4-11 16:03

硅多晶（GB/T 12963-2009），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会，英文名为Specification for polycrystalline silicon。
硅多晶（GB/T 12963-2009）是在2009-10-30发布，在2010-06-01开始实施。
它在2015-09-01作废。被标准GB/T 12963-2014替代。
该标准采用了标准SEMI M16-1103-2003,MOD。
本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、试验规则以及标志、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶
本标准文件共有6页。

GB_T 12963-2009 硅多晶.pdf (198.05 KB)

雷雨 · 发表于 2025-4-22 03:16

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