本标准为GB/T 14144-2009，标准的中文名称为硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法，标准的英文名称为Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon，本标准在2009-10-30发布，在2010-06-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI MF 1188-1105,MOD。
本标准采用红外光谱法测定硅晶体中间隙氧含盘径向的变化。本标准需要用到无氧参比样品和一套经过认证的用于校准设备的标准样品。
本标准文件共有9页。
GB_T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法.pdf
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