本标准为GB/T 1558-2009，标准的中文名称为硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法，标准的英文名称为Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption，本标准在2009-10-30发布，在2010-06-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI MF1391-0704,MOD。
本标准规定了硅中代位碳原子含量的红外吸收测量方法
本标准文件共有8页。
GB_T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法.pdf
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