本标准为GB/T 4061-2009，标准的中文名称为硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法，标准的英文名称为Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion，本标准在2009-10-30发布，在2010-06-01开始实施。
本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料,以细硅芯为发热体,在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。
本标准文件共有5页。 GB_T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法.pdf(112.85 KB)
