GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢

HL876513143 · 发表于 2021-4-10 12:01

本标准为GB/T 24469-2009，标准的中文名称为电子工业用气体 5N氯化氢，标准的英文名称为Gas for electronic industry. 5N hydrogen chloride，本标准在2009-10-15发布，在2009-12-01开始实施。
本标准作废日期为2015-07-01。被标准GB/T 14602-2014替代。
本标准规定了电子工业用气体 5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。
本标准文件共有13页。

GB_T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢.pdf (531.71 KB)

		自动登录	找回密码
密码			QQ一键登录

GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢

相关帖子