GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法

kokoko · 发表于 2021-4-10 07:22

本标准为GB/T 36705-2018，标准的中文名称为氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法，标准的英文名称为Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates. Raman spectrum method，本标准在2018-09-17发布，在2019-06-01开始实施。
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化稼衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化稼材料上生长的N型氮化稼衬底片载流子浓度的测试。测试范围:1×10＾(17)cm＾(-3)～1×10＾(20)cm＾(-3)。
本标准文件共有8页。

GB_T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法.pdf (440.14 KB)

lzj13622907484 · 发表于 2022-7-30 06:12

下载很快

liao931379946 · 发表于 2023-5-11 05:22

这个好啊，谢谢了。

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GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

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