GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

韩风 · 发表于 2021-4-12 23:06

硅多晶真空区熔基硼检验方法（GB/T 4060-2007），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委界会材料分技术委员会，英文名为Polycrystalline silicon. Examination method. Vacuum zone-melting on boron。
硅多晶真空区熔基硼检验方法（GB/T 4060-2007）是在2007-09-11发布，在2008-02-01开始实施。
它在2019-06-01作废。被标准GB/T 4060-2018替代。
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围:0.002×10-3~100×10-9。
本标准文件共有7页。

GB_T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf (199.1 KB)

yhlong · 发表于 2022-3-1 00:05

不错不错

国产贱人 · 发表于 2022-6-23 17:52

看看。。。

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GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

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