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GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

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qiubaidi 发表于 2021-4-10 06:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级(GB/T 25915.9-2018),该标准的归口单位为全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会,英文名为Cleanrooms and associated controlled environments. Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration。
洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级(GB/T 25915.9-2018)是在2018-06-07发布,在2018-10-01开始实施。
该标准采用了标准ISO 14644-9-2012,IDT。
GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05μm~500μm的粒子。本部分对以下事项未予考虑:1、特定工艺的洁净度及适合性要求;2、表面的清洁步骤;3、材料特性;4、涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项;5、分级和测试统计方法的选择和使用;6、粒子的其他特性,如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。
本标准文件共有26页。
GB_T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级.pdf (2.55 MB)
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命刃ill丶殿下 发表于 2022-9-28 14:50 | 显示全部楼层
看看。。。
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零下九度1 发表于 2022-10-4 01:14 | 显示全部楼层
很给力~
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