本标准为GB/T 36401-2018，标准的中文名称为表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告，标准的英文名称为Surface chemical analysis. X-ray photoelectron spectroscopy. Reporting of results of thin-film analysis，本标准在2018-06-07发布，在2019-05-01开始实施。
该标准采用了标准ISO 13424-2013,IDT。
本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。
本标准文件共有43页。
GB_T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告.pdf
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