GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

QWERTY · 发表于 2019-3-26 06:09

《确定晶片坐标系规范》（GB/T 16596-2019），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Specification for establishing a wafer coordinate system。
《确定晶片坐标系规范》（GB/T 16596-2019）是在2019-03-25发布，在2020-02-01开始实施。
本标准文件共有5页。

GB_T 16596-2019 确定晶片坐标系规范.pdf (436.27 KB)

shuyun · 发表于 2024-5-8 17:39

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GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

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