表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法（GB/T 20175-2006），该标准的归口单位为全国微束分析标准化技术委员会，英文名为Surface chemical analysis. Sputter depth profiling. Optimization using layered system as reference materials。
表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法（GB/T 20175-2006）是在2006-03-27发布，在2006-11-01开始实施。
该标准采用了标准ISO 14606-2000,IDT。
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的,本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。特殊多层膜系的使用不包括在本标准内。
本标准文件共有19页。
GB_T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法.pdf
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