物理气相沉积TiN薄膜技术条件（GB/T 18682-2002），该标准的归口单位为全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会，英文名为Specifications of physical vapour deposition TiN films。
物理气相沉积TiN薄膜技术条件（GB/T 18682-2002）是在2002-03-10发布，在2002-08-01开始实施。
本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜,也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层(TiC,TiCN,TiAIN等)。
本标准文件共有24页。
GB_T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件.pdf
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