SJ 20714-1998 砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法

842025450 · 发表于 2021-4-11 02:01

本标准为SJ 20714-1998，标准的中文名称为砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法，标准的英文名称为Test method for sub-surface damage of gallium arsenide polished wafer by X-ray double crystal diffraction，本标准在1998-03-18发布，在1998-05-01开始实施。
本标准规定了砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法。本标准适用于经过化学、机械单面和双面抛光的砷化镓晶片亚损伤层的定性测量。
本标准文件共有4页。

SJ 20714-1998 砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法.pdf (570.33 KB)

volvic · 发表于 2022-1-24 03:51

这个好啊，谢谢了。

546546165351 · 发表于 2022-3-10 13:43

下载很快

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SJ 20714-1998 砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法

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