用于集成电路制造技术的检测图形单元规范（GB/T 16878-1997），该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所，英文名为Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture。
用于集成电路制造技术的检测图形单元规范（GB/T 16878-1997）是在1997-06-20发布，在1998-03-01开始实施。
该标准采用了标准SMEI P19-1992,IDT。
本规范规定若干种标准测试图形,用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。本规范针对线宽计量、分辨率测试和邻近效应测试的需要,规定若干种基本测试图形单元的形状、一般尺寸、以及推荐的布局和设计规则。这些标准图形包括可供光学显微镜、电子显微镜和电子探针测量用的各种图形单元。本规范不规定验证母版上测试图形关键尺寸的测量技术,也不规定如何测量大圆片上的光刻图形,只规定若干种必要的基本测试图形,以及用户实施符合本规范的实际测试图形。
本标准文件共有14页。
GB_T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范.pdf
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