硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂（GB/T 16527-1996），该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所，英文名为Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates。
硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂（GB/T 16527-1996）是在1996-09-09发布，在1997-05-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI P3-1990,MOD。
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。
本标准文件共有8页。
GB_T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂.pdf
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