GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则

a822488184 · 发表于 2021-4-12 04:59

本标准为GB/T 15873-1995，标准的中文名称为半导体设施接口技术文件编写导则，标准的英文名称为Directives for drafting semiconductor facilities interface specification，本标准在1995-12-22发布，在1996-08-01开始实施。
本标准规定了半导体设施接口技术文件(以下简称接口文件)编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。
本标准文件共有15页。

GB_T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则.pdf (356.97 KB)

272942839 · 发表于 2023-12-14 18:51

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