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GB/T 14015-1992 硅--蓝宝石外延片

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硅--蓝宝石外延片(GB/T 14015-1992),该标准的归口单位为无,英文名为Silicon on sapphire epitaxial wafers。
硅--蓝宝石外延片(GB/T 14015-1992)是在1992-12-28发布,在1993-08-01开始实施。
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
本标准文件共有8页。
GB_T 14015-1992 硅--蓝宝石外延片.pdf (242.71 KB)
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penghubiao 发表于 2021-12-25 10:02 | 显示全部楼层
谢谢分享!!!!
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flyinboy 发表于 2022-2-15 00:23 | 显示全部楼层
不错不错
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