JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

2b小青年 · 发表于 2021-4-9 15:25

溅射离子泵性能测试方法（JB/T 2965-1992），该标准的归口单位为沈阳真空技术研究所，溅射离子泵性能测试方法（JB/T 2965-1992）是在1992-12-25发布，在1993-07-01开始实施。
它在2017-05-12作废。本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。本标准适用于抽速大于10的离子泵。
本标准文件共有6页。

JB_T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法.pdf (307.16 KB)

juge · 发表于 2022-7-16 07:45

谢谢分享！！！！

BIG_K · 发表于 2022-10-4 12:05

感谢分享~

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JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

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