YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法

easy2go · 发表于 2021-4-11 23:22

外延钉缺陷的检验方法（YS/T 24-1992），该标准的归口单位为无，外延钉缺陷的检验方法（YS/T 24-1992）是在1992-03-09发布，在1993-01-01开始实施。
它在2016-09-01作废。被标准YS/T 24-2016替代。
本标准现定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小4μm的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
本标准文件共有3页。

YS_T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法.pdf (116.8 KB)

杨电话啊 · 发表于 2022-8-10 23:47

谢谢分享！！！！

lei86486 · 发表于 2023-7-12 20:09

看一下

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