GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

悬崖上的爱 · 发表于 2021-11-27 22:58

《流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》（GB/T 40566-2021），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method。
《流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》（GB/T 40566-2021）是在2021-10-11发布，在2022-05-01开始实施。
本标准文件共有9页。

GB_T 40566-2021 流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法.pdf (569.93 KB)

z7q2ja8s1c · 发表于 2022-1-2 21:51

看一下

jiayuan66 · 发表于 2022-1-13 22:04

看看怎样

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GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

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