本标准为YS/T 1290-2018，标准的中文名称为多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法，标准的英文名称为Determination of silane content in tail gas of polycrystalline silicon production. Gas chromatographic method，本标准在2018-10-22发布，在2019-04-01开始实施。
本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%～10.00%。
本标准文件共有8页。 YS_T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法.pdf(365.13 KB)
