本标准为SJ/T 11451-2013，标准的中文名称为扩散炉能源消耗规范，标准的英文名称为Specification for energy consumption norm of diffusion furnace，本标准在2013-10-17发布，在2013-12-01开始实施。
本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标推适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃～1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
本标准文件共有12页。 SJ_T 11451-2013 扩散炉能源消耗规范.pdf(1.01 MB)
