洁净室及相关受控环境 第2部分:证明持续符合CAS127.1的检测与监测技术条件（CAS 127.2-2010），该标准的归口单位为中国标准化协会，英文名为Cleanrooms and associated controlled environments. Part1:Specificarions for testing and monitoring to prove continued compliance with CAS 127.1。
洁净室及相关受控环境 第2部分:证明持续符合CAS127.1的检测与监测技术条件（CAS 127.2-2010）是在2010-12-30发布，在2010-12-30开始实施。
该标准采用了标准ISO 14644-2-1999,IDT。
规定了对洁净室或洁净区进行定期检侧的要求,以证明其持续符合CAS 127.1中规定的空气悬浮粒子浓度等级。这些要求包括CAS 127.1说明的洁净室或洁净区的分级检测。此外,还规定了按本部分要求实施的其他检测项目。可按用户要求实施的可选检测项目,本部分也做了说明。本部分还规定了对洁净室或洁净区(以下简称"设施")进行监侧的要求,以提供其持续符合CAS 127.1中规定的空气悬浮粒子浓度等级的证据。
本标准文件共有12页。
CAS 127.2-2010 洁净室及相关受控环境 第2部分_证明持续符合CAS127.1的检测与监测技术条件.pdf
(344.37 KB)
|
|
