洁净室及相关受控环境 第5部分:运行（CAS 127.5-2009），该标准的归口单位为中国标准化协会，英文名为Cleanrooms and associated controlled environments. Part5:Operations。
洁净室及相关受控环境 第5部分:运行（CAS 127.5-2009）是在2009-09-03发布，在2009-09-03开始实施。
该标准采用了标准ISO 14644-5-1999,IDT。
本部分的内容规定了洁净室运行的基本要求,供准备使用并运行洁净室的人员使用。本部分内容未涉及与污染控制有直接关联的安全问题,相关问题必须遵守国家和地方的安全法规,本部分涉及生产各类产品的各个级别的洁净室。所以它应用范围广泛,但未涉及各个行业的特定要求,本部分未包括沽净室的常规监测方法和规划的细节,关于粒子的监测参见 CAS 127.2和CAS 127.3,微生物的监测参见CAS 128.1和CAS 128.2。
本标准文件共有45页。
CAS 127.5-2009 洁净室及相关受控环境 第5部分_运行.pdf
(2.25 MB)
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