SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列

神风7812 · 发表于 2021-12-8 09:48

蒸发镀膜设备基本参数系列（SJ/T 11131-1997），该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所，英文名为Basic parameter series of evaporation plating equipment。
蒸发镀膜设备基本参数系列（SJ/T 11131-1997）是在1997-09-03发布，在1998-01-01开始实施。
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)Pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
本标准文件共有4页。

SJ_T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列.pdf (494.17 KB)

qq435602800 · 发表于 2022-2-11 22:56

不错不错

阿修羅 · 发表于 2023-8-17 15:42

这个好啊，谢谢了。

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SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列

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