本标准为SJ 20518-1995，标准的中文名称为压电器件用五氧化二钽薄膜规范，标准的英文名称为Specification for Ta2O5 films for use in piezoelectric devices，本标准在1995-05-25发布，在1995-12-01开始实施。
本规范规定了五氧化二钽(Ta(2)O(5))压电晶体膜的要求,质量保证规定和检验方法。本规范适用于平面磁控反应性溅射法制备的M点群的五氧化二钽压电晶体膜。
本标准文件共有8页。
SJ 20518-1995 压电器件用五氧化二钽薄膜规范.pdf
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