SJ/T 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

SACN · 发表于 2021-12-7 15:37

真空镀膜设备完好要求和检查评定方法（SJ/T 31082-1994），该标准的归口单位为无，真空镀膜设备完好要求和检查评定方法（SJ/T 31082-1994）是在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
它在2017-05-12作废。本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于极限压力在1×10^(-5)～1×10^(-4)pa范围内的各种型号真空镀膜设备。
本标准文件共有3页。

SJ_T 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法.pdf (534.02 KB)

大@o：波霸 · 发表于 2021-12-30 17:19

这个好啊，谢谢了。

陌曦 · 发表于 2022-4-21 08:52

不错不错

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SJ/T 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

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