SJ/T 31096-1994 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法

勿忘我1314 · 发表于 2021-12-8 17:44

精密硅片磨床完好要求和检查评定方法（SJ/T 31096-1994），该标准的归口单位为无，精密硅片磨床完好要求和检查评定方法（SJ/T 31096-1994）是在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
本标准规定了精密硅片磨床的完好要求与检查、评定方法。本标准适用于CM73-Ⅲ型精密硅片磨床。其它类型的硅片磨床也可参照本标准执行。
本标准文件共有4页。

SJ_T 31096-1994 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法.pdf (659.33 KB)

su1994321670 · 发表于 2021-12-22 03:39

看看先

南城旧梦丶 · 发表于 2022-1-4 18:34

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SJ/T 31096-1994 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法

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