SJ/T 31095-1994 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法

a13534052401 · 发表于 2021-12-7 20:40

本标准为SJ/T 31095-1994，标准的中文名称为劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法，本标准在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
本标准作废日期为2017-05-12。本标准规定了半导体集成电路生产用陶瓷劈刀研磨装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于KIKO型劈刀研磨装置,结构类似的其它型号的劈刀研磨装置,亦可参照执行。
本标准文件共有2页。

SJ_T 31095-1994 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法.pdf (365.44 KB)

Heartbeat° · 发表于 2022-1-7 04:16

谢谢分享！！！！

yyy · 发表于 2022-1-7 22:49

很给力~

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SJ/T 31095-1994 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法

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