SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件

614860312 · 发表于 2021-12-3 12:21

电子束曝光机通用技术条件（SJ/T 10312-1992），该标准的归口单位为无，英文名为General specification of electron beam exposure system。
电子束曝光机通用技术条件（SJ/T 10312-1992）是在1992-06-15发布，在1992-12-01开始实施。
本标准规定了电子束曝光机(以下简称曝光机)的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。
本标准文件共有13页。

SJ_T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件.pdf (2.15 MB)

sharon · 发表于 2022-4-20 20:40

看一下

jgsjgdk · 发表于 2022-5-28 05:14

这个好啊，谢谢了。

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SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件

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