JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗分等

aa1585306674 · 发表于 2021-12-5 23:46

半导体器件外延炉能耗分等（JB/T 5631-1991），该标准的归口单位为机械电子工业部机械标准化研究所，半导体器件外延炉能耗分等（JB/T 5631-1991）是在1991-09-13发布，在1992-07-01开始实施。
它在2017-05-12作废。本标准规定了半导体器件外延炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。
本标准文件共有4页。

JB_T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗分等.pdf (92.58 KB)

1123237161 · 发表于 2022-2-10 18:43

不错不错

543763889 · 发表于 2023-8-14 04:46

谢谢分享！！！！

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JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗分等

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