JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉能耗分等

丁雨涵 · 发表于 2021-12-2 04:23

半导体器件扩散炉能耗分等（JB/T 5630-1991），该标准的归口单位为机械电子工业部机械标准化研究所，半导体器件扩散炉能耗分等（JB/T 5630-1991）是在1991-09-13发布，在1992-07-01开始实施。
它在2017-05-12作废。本标准规定了半导体器件扩散炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
本标准文件共有4页。

JB_T 5630-1991 半导体器件扩散炉能耗分等.pdf (80.9 KB)

bluefish · 发表于 2022-1-1 04:48

不错不错

14253952 · 发表于 2022-1-12 23:46

看看先

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