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SJ/Z 2927-1988 集成电路制版设备名词术语

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2217895716 发表于 2021-12-3 20:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
本标准为SJ/Z 2927-1988,标准的中文名称为集成电路制版设备名词术语,本标准在1988-03-10发布,在1988-10-01开始实施。
本指导性技术文件规定的名词术语适用于集成电路光学制版主要设备的研制、使用、测试及验收。
本标准文件共有15页。
SJ_Z 2927-1988 集成电路制版设备名词术语.pdf (2.34 MB)
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1222222 发表于 2022-3-12 05:45 | 显示全部楼层
强强强强
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平生一笑 发表于 2022-3-14 01:57 | 显示全部楼层
好资源,正好需要
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