SJ 2065-1982 半导体器件生产用扩散炉测试方法

开心 · 发表于 2021-12-7 14:25

本标准为SJ 2065-1982，标准的中文名称为半导体器件生产用扩散炉测试方法，本标准在1982-02-18发布，在1982-07-01开始实施。
本标准适用于SJ 1794-81《半导体器件生产用扩散炉通用技术条件》中规定的各种类型扩散炉。本标准规定了下列项目的测试方法:升温时间;升温功率;恒温区长度及恒温精度;单点稳定性;恒温功率;恒温区稳定性;开机重复性;电网电压波动影响;推舟恢复时间;多管炉层间影响。本标准所用名词术语见附录A(补充件)。
本标准文件共有7页。

SJ 2065-1982 半导体器件生产用扩散炉测试方法.pdf (1.26 MB)

2996412744 · 发表于 2022-1-5 12:46

看看。。。

429620398 · 发表于 2022-1-10 19:45

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SJ 2065-1982 半导体器件生产用扩散炉测试方法

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