洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇（CAS 127.6-2009），该标准的归口单位为中国标准化协会，英文名为Cleanrooms and associated controlled environments. Part 6:Vocabulary。
在2009-09-03开始实施。
该标准采用了标准ISO 14644-6-1999,IDT。
本部分给出洁净室和相关受控环境有关的术语和定义,是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了CAS 128.1和CAS 128.2中的术语和定义。
本标准文件共有33页。
CAS 127.6-2009 洁净室及相关受控环境 第6部分_词汇.pdf
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