SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

songyong · 发表于 2021-12-5 21:28

本标准为SJ 3248-1989，标准的中文名称为重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法，标准的英文名称为Methods for measuring carrier concentration of readded Gallium arsenide and Indium phosphide by infra-red reflection，本标准在1989-03-20发布，在1989-03-25开始实施。
本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理、仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化铟单晶载流子浓度,也适用于测量外延层的载流予浓度。
本标准文件共有4页。

SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法.pdf (639.06 KB)

大鹏 · 发表于 2021-12-19 18:54

好资源，正好需要

gfdsa1481343049 · 发表于 2022-1-15 19:14

支持下啊

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SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

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