本标准为GB/T 35158-2017，标准的中文名称为俄歇电子能谱仪检定方法，标准的英文名称为Verification method for Auger electron spectrometers，本标准在2017-12-29发布，在2018-11-01开始实施。
本标准规定了俄歇电子能谱仪（Auger electron spectrometer）的检定方法。本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
本标准文件共有61页。 GB_T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法.pdf(7.24 MB)
