本标准为GB/T 4061-1983，标准的中文名称为硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法，标准的英文名称为Polycrystalline silicon--Examination method--Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion，本标准在1983-12-20发布，在1984-12-01开始实施。
本标准作废日期为2010-06-01。被标准GB/T 4061-2009替代。
本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。
本标准文件共有2页。 GB_T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法.pdf(41.38 KB)
